Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии
Игорь Житяев, Александр Светличный
В пособии рассмотрены взаимодействие световых потоков с полупроводниковой структурой, режимы обработки, процессы отжига и рекристаллизации поликремниевых и аморфных слоев, отжига и легирования полупроводниковых структур, формирование контактно-металлизационной системы, планаризация, а также получение диэлектрических пленок.
Учебное пособие может быть использовано при подготовке магистров по направлениям 28.04.01 – Нанотехнологии и микросистемная техника, 11.04.03 – Конструирование и технология электронных средств, 11.04.04 – Электроника и наноэлектроника в курсе «Лучевые процессы нанотехнологии».
Игорь Житяев, Александр Светличный, Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии — скачать в fb2, txt, epub или pdf
Читать «Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии» онлайн
Метки: книги для студентов и аспирантов, нанотехнологии, наноэлектроника, научные материалы
Рубрики: Учебная литература
Комментарии ()